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无氧烘箱是如何实现无氧环境的?

更新时间:2023-12-21点击次数:385

无氧烘箱是如何实现无氧环境的?



随着各类产品工艺的日益精进和要求的提高,催发了无氧烘箱在工业用途上的普及。尤其是半导体行业,在此类烘箱的需求上日益旺盛。

 

那么我们所说的无氧烘箱是如何实现无氧环境的呢?下面海向小编给大家介绍一下:

 


无氧烘箱内部工作室的无氧环境主要是通过氮气置换来实现的。

 

往设备腔体内经专用进气口和导管充入高纯氮气,氮气的一般纯度在99.99%以上(可以根据不同产品对氧含量的不同要求来选择氮气纯度)。

 

海向无氧烘箱的氮气排氧控制系统采用双路氮气导入回路,各向箱内提供0~100L/min+0~480L/min的氮气,每路配套进口电磁阀,双流量自动切换,到达设定浓度自动关闭保持低氧浓度环境自动切换至低流量氮气,大大节省氮气消耗量,也可根据工艺制程要求,自行设定,满足多种工艺需求。

 

氮气压力检测-100kpa~100kpa可设定,当腔内内部氮气正压力超出预警压力值自动报警切断进气阀门。

 

海向建议大型氮气烘箱或者氧含量要求较低的,最好自己工厂具备制氮机,因为保持较低的氧含量就需要不间断的充入氮气,对氮气的流量要求较大,而瓶装氮气的成本相对较高,故有制氮机是较佳选择。

 

氮气进入后,经过高温加热再通过过滤器,反复循环,达到要求的数值。目前,氧含量检测主要基于氧气传感器。接通电源,达到一定值,氧气传感器,开始检测。

 

海向建议:不要长时间在洁净室外使用设备。长期在有尘环境使用。空气中的大量颗粒灰尘会大大降低空气滤清器的寿命。